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PRECESS普瑞賽思雙層真空傳輸閥（V73系列）用于SEMI生產系統(tǒng)中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思全加熱型真空傳輸閥（V72系列）適用于半導體制造（SEMI）生產系統(tǒng)中裝載鎖定室與工藝腔室之間的隔離。適合諸如蝕刻或化學氣相沉積等腐蝕性工藝。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列L型四開口）用于SEMI生產系統(tǒng)中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸閥（V70系列雙開口）用于SEMI生產系統(tǒng)中的負載鎖定和工藝室隔離。適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或CVD。

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）適用于腐蝕性工藝，如蝕刻或化學氣相沉積（CVD），其技術采用單軸氣動執(zhí)行器驅動的L型運動。在L型運動中，隔板垂直移動到關閉位置——無需與閥體接觸——然...

PRECESS普瑞賽思真空傳輸門閥（V77系列）L-Motion密封與傳輸閥不同，只有一個真空室用于裝載或處理。因此，門的另一側始終處于大氣壓下。所有PRECESS解決方案都是針對各自的應用量身定制的...

PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝，如蝕刻或 CVD，通過單軸氣動執(zhí)行器對閘門進行 L 型運動的技術。在 L 型運動中，閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - ...

PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥（AB系列）提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運動控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各種過程中進行壓力控制的理想解決方案。板充當節(jié)流元件...

Leybold萊寶電容薄膜真空計（CTR100）適用于腐蝕性工藝氣體。它能達到優(yōu)秀水平的精度（0.2%），通過陶瓷電容式傳感器進行真空度測量。

Leybold萊寶熱陰極真空計（ITR90）是一款經過優(yōu)化的組合變送器。通過將熱陰極電離傳感器（采用熱陰極電離的 Bayard Alpert 原理）與皮拉尼傳感器相結合，可實現(xiàn) 5×10-1...

Leybold萊寶線性壓力傳感器（DI200）是一款性能優(yōu)異的真空壓力測量儀器。它堅固耐用，防護等級為IP54，適用于惡劣環(huán)境。產品非常緊湊，只需要一個傳感器，采用電容式或壓電式傳感器。

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復合真空計（TTR101）的測量范圍從 5×10?? 到1500 mbar，能夠滿足從粗真空到高真空的測量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測...

Leybold萊寶PENNINGVAC冷陰極真空計（PTR90）精度高，外形小巧，占用空間小。它們采用杰出的技術，其真空測量能力達到很高水平。

德國Leybold萊寶數(shù)顯手持式真空計（TM101）測量范圍為 1200...5×10-4 mbar。Piezo/Pirani 復合真空計，帶有溫度補償功能，適合法蘭安裝。如果使用合適的電池...