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Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)(TTR101)的測(cè)量范圍從 5×10?? 到1500 mbar,能夠滿(mǎn)足從粗真空到高真空的測(cè)量需求。在 10mbar 到 1500mbar 的測(cè)量范圍之間,測(cè)量精度高,且不受被測(cè)氣體的影響,可提供準(zhǔn)確可靠的測(cè)量結(jié)果。

產(chǎn)品型號(hào):TTR101
更新時(shí)間:2025-01-17
廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
訪(fǎng)問(wèn)量:232
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品牌Leybold/德國(guó)萊寶真空接口DN 16 ISO KF
量程5×10?? 到1500mbar測(cè)量原理皮拉尼與電容薄膜
價(jià)格區(qū)間2千-5千產(chǎn)地類(lèi)別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,制藥

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)(TTR101

性能特點(diǎn)

l測(cè)量范圍廣:測(cè)量范圍從 5×10?? mbar 1500 mbar,涵蓋了從粗真空到高真空的較寬范圍,可滿(mǎn)足多種真空應(yīng)用場(chǎng)景的測(cè)量需求。

l精度較高:在 10mbar 1500mbar 的測(cè)量范圍之間,測(cè)量精度高,且不受被測(cè)氣體的影響,能夠提供準(zhǔn)確可靠的測(cè)量結(jié)果。

l傳感器堅(jiān)固耐用:其包含的 MEMS Pirani 傳感器元件和壓電傳感器元件都極為堅(jiān)固耐用,可承受較高重力和瞬間空氣涌入,具有較好的穩(wěn)定性和可靠性,適用于較為苛刻的工作環(huán)境。

l安裝位置不敏感:MEMS Pirani 傳感器由于其幾何形狀,空腔內(nèi)無(wú)法進(jìn)行對(duì)流,氣體分子只能通過(guò)擴(kuò)散到達(dá)熱元件,因此傳感器對(duì)安裝位置并不敏感,方便在不同的系統(tǒng)中進(jìn)行安裝和使用。

 

工作原理

該真空計(jì)結(jié)合了皮拉尼原理與電容薄膜原理。其中,MEMS Pirani 傳感器元件基于熱傳導(dǎo)性的測(cè)量結(jié)果,包含一個(gè)帶有熱電阻元件的硅芯片,其構(gòu)成空腔的一個(gè)表面,芯片頂部的封蓋形成空腔的另一表面,通過(guò)測(cè)量氣體的熱損耗來(lái)反映真空度;壓電傳感器基于相對(duì)于集成式參考真空的硅膜機(jī)械偏轉(zhuǎn)測(cè)量結(jié)果,可獨(dú)立于氣體成分和濃度來(lái)測(cè)量真實(shí)的絕對(duì)壓力。

 

Leybold萊寶皮拉尼和電容膜片復(fù)合真空計(jì)(TTR101

技術(shù)參數(shù)

l輸出接口:配備 RS232 數(shù)字通信接口和 EtherCAT 數(shù)字通信接口的變送器版本,可設(shè)置變送器參數(shù),并可提供實(shí)時(shí)壓力測(cè)量結(jié)果。部分型號(hào)還帶有線(xiàn)性模擬 0-10V 輸出,可連接至外部模擬設(shè)備,用于獲取壓力讀數(shù)或進(jìn)行壓力控制。

l顯示功能:部分型號(hào)配備集成式觸屏顯示器,能夠監(jiān)控基本的變送器參數(shù),方便用戶(hù)直接讀取測(cè)量結(jié)果和進(jìn)行參數(shù)設(shè)置。

l繼電器功能:擁有多達(dá)三個(gè)機(jī)械繼電器,這些繼電器可用于過(guò)程控制,例如閥或泵的聯(lián)鎖,可根據(jù)設(shè)定的壓力值自動(dòng)控制相關(guān)設(shè)備的運(yùn)行。

 

應(yīng)用領(lǐng)域

l工業(yè)應(yīng)用:廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)生產(chǎn)過(guò)程中的真空測(cè)量與控制,如真空鍍膜、真空干燥、真空包裝等領(lǐng)域,確保生產(chǎn)過(guò)程中的真空環(huán)境符合工藝要求。

l研發(fā)領(lǐng)域:在科研實(shí)驗(yàn)中,可用于實(shí)驗(yàn)室的真空系統(tǒng)控制、前級(jí)管道和粗抽壓力測(cè)量、氣體回填測(cè)量和控制等,為科研工作提供準(zhǔn)確的真空度測(cè)量。

l半導(dǎo)體行業(yè):在半導(dǎo)體制造過(guò)程中,如光刻、刻蝕、薄膜沉積等工藝中,對(duì)真空環(huán)境的要求很高,TTR101 真空計(jì)可用于精確測(cè)量和控制真空度,保證產(chǎn)品質(zhì)量和生產(chǎn)效率。

l分析和涂料工業(yè):在分析儀器如質(zhì)譜儀、氣相色譜儀等中,可作為真空度測(cè)量的關(guān)鍵部件,確保儀器的正常運(yùn)行和分析結(jié)果的準(zhǔn)確性;在涂料工業(yè)中,可用于涂料的真空干燥和固化過(guò)程中的真空控制。


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