PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）

為了最小化顆粒生成和激活，隔板上安裝了插入式O形圈密封，硫化密封件是一種選擇。這是一種高度可靠且比標(biāo)準(zhǔn)O形圈密封更耐用的密封解決方案，盡管標(biāo)準(zhǔn)O形圈密封也可作為選項提供。軸通過高耐用金屬焊接波紋管進(jìn)行密封。

在斷電情況下，V70可以在關(guān)閉位置機械鎖定。 已經(jīng)在各種半導(dǎo)體、太陽能和工業(yè)生產(chǎn)過程中的數(shù)百個苛刻應(yīng)用中安裝使用，V70系列已證明了其很好的可靠性。憑借其堅固的設(shè)計以及簡化和易于維護(hù)的特點，V70系列在各個方面都令人信服。

V70換向閥始終根據(jù)客戶規(guī)格定制。盡管如此，四種基本設(shè)計類型是預(yù)定義的：兩種具有不同后側(cè)開口的閥門類型和兩種具有內(nèi)部或外部腔室閥座的插入類型。

閥體材料選項包括鋁、硬陽極氧化、鎳鍍層或不銹鋼。閘門和蓋子密封件為FKM或FFKM。其他密封材料可根據(jù)要求提供。

特征：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半 E21-94 半 E24-92 半 E21.1-1296）

l低振動。獲得認(rèn)證的L形運動連桿和執(zhí)行器中無彈簧的雙換檔可實現(xiàn)更快的速度

l更平穩(wěn)的氣動執(zhí)行器

l機械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計有固定器，以防止拆卸時螺栓脫落

應(yīng)用：

l半導(dǎo)體加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

l太陽能電池板制造

lLCD/平板工藝

l所有其他集群真空系統(tǒng)

PRECESS普瑞賽思真空傳輸插入閥（V70系列）

技術(shù)參數(shù)