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PRECESS普瑞賽思真空控制蝴蝶閥（AB系列）提供壓力控制性能。憑借其快速而精確的運(yùn)動(dòng)控制器（0.1s），它是在PVD，CVD，Etch和Ald等各種過(guò)程中進(jìn)行壓力控制的理想解決方案。板充當(dāng)節(jié)流元件，并改變了閥門打開的電導(dǎo)。 AB-N的集成壓力控制器計(jì)算所需的板位置，以盡可能快地達(dá)到設(shè)定的壓力。