PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥（V20系列）

SPAV系列已經(jīng)安裝在各種工藝條件下要求苛刻的應(yīng)用程序中，證明了其出色的可靠性。它已成為壓力范圍高達(dá)<10-7毫巴的真空隔離的標(biāo)準(zhǔn)解決方案，例如與渦輪分子泵連接。

憑借堅固的設(shè)計和直接安裝選項，以及由于其分體式機身而減少和易于維護(hù)，SPAV系列很容易滿足所有標(biāo)準(zhǔn)要求。

驅(qū)動、法蘭連接或額外真空端口的各種設(shè)計選項使其易于集成到任何真空應(yīng)用中。

SPAV系列的一個關(guān)鍵特征是它被鎖定在關(guān)閉位置，消除了因氣動故障而導(dǎo)致的真空損失風(fēng)險。

SPAV閘閥有手動和氣動兩種版本，帶電磁閥，既可作為車載解決方案，也可用于外部安裝。電磁閥標(biāo)準(zhǔn)電壓為24 VDC，可根據(jù)要求提供其他電壓。閥門位置由機械或電氣位置指示器指示。

法蘭連接器的標(biāo)準(zhǔn)選項是ISO-F和JIS?？梢约煽蛻籼囟ǖ姆ㄌm，以及特殊功能，例如激光應(yīng)用的閘門（作為無密封的閘門）。

標(biāo)準(zhǔn)閘門密封由FKM中的O型圈密封提供，其他密封材料可應(yīng)要求提供。

特征：

l低擁有成本

l良好的O型圈軸密封閥

l無沖擊，振動最小

l鋁制閥體

l空氣故障時機械鎖處于關(guān)閉位置

優(yōu)點：

lDN40-320，帶FKM O型圈閘門密封

l氣動執(zhí)行器雙作用

l提供ISO-K版本

lISO-F公制法蘭選項

應(yīng)用：

l通用真空、太陽能、半導(dǎo)體加工

lPVD、濺射沉積

PRECESS普瑞賽思精密真空閘閥（V20系列）

技術(shù)參數(shù)