PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）

帶有L-Motion的V75大型傳輸插入閥是為具有高循環(huán)速率的Solar和FPD生產(chǎn)系統(tǒng)的特殊要求而開發(fā)的。基于V75系列的概念，它結(jié)合了極快的打開和關(guān)閉運(yùn)動(dòng)（在150毫米的打開高度下≤2秒）和對工藝相關(guān)沉積物的高阻力，這些沉積物會(huì)限制標(biāo)準(zhǔn)閥門的性能。V75配備了更大的壓力元件，可以承受閘門在開啟方向上的全壓差。因此，它特別適用于太陽能、OLED、PVD和負(fù)載鎖應(yīng)用。

V75可用于OLED的“超清潔"配置，并可用于PVD和負(fù)載鎖定應(yīng)用的高速選項(xiàng)。

V78使用的L-Motion技術(shù)基于模塊化平臺(tái)概念。它提供了一種無沖擊的打開和關(guān)閉動(dòng)作。平穩(wěn)運(yùn)行的雙作用L-Motion機(jī)構(gòu)可確保整個(gè)密封表面上的密封壓力均勻，最大限度地減少密封磨損和潛在的顆粒釋放。這也在一定程度上降低了閥門壽命期間FFKM密封件的總成本。

V75系列可作為帶外殼的標(biāo)準(zhǔn)傳輸閥或作為插入式版本直接安裝在工藝室中。

與所有PRECESS傳輸閥解決方案一樣，V75大型傳輸插入閥是根據(jù)客戶的具體規(guī)格量身定制的。這些定制可能包括額外的過程控制單元、特殊的表面處理，如硬質(zhì)陽極氧化鋁或鍍鎳鋁、其他密封材料、檢測閥體壓力的真空計(jì)、波紋管保護(hù)的軸饋通、閥門和閘門的射頻和直流接地選項(xiàng)、執(zhí)行器的橫向安裝位置等。

特征：

l半標(biāo)準(zhǔn)應(yīng)用（半E21-94半E24-92半E21.1-1296）

l通過使用獲得認(rèn)證的L形運(yùn)動(dòng)連桿和執(zhí)行器中沒有彈簧的雙換檔，顯著減少了振動(dòng)，實(shí)現(xiàn)了更快的速度

l更平穩(wěn)的驅(qū)動(dòng)

l閉合位置的機(jī)械鎖

優(yōu)點(diǎn)：

l焊接波紋管執(zhí)行器密封

l閥蓋法蘭螺栓設(shè)計(jì)有固定器，以防止拆卸時(shí)螺栓脫落

l氣動(dòng)執(zhí)行器雙作用

應(yīng)用

l太陽能、FPD加工

l等離子體蝕刻、CVD、濺射沉積

lLCD/平板加工

l所有其他需要壓力控制器真空系統(tǒng)的應(yīng)用

PRECESS普瑞賽思大型傳輸插入閥（V75系列）

技術(shù)參數(shù)