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電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康)CDG025D電容薄膜規(guī),屬于INFICON薄膜規(guī)系列,測量精度可達(dá):0.2%(讀數(shù)精度)、自帶溫度補(bǔ)償功能,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整功能。
INFICON英??抵械驼婵真嚱z皮拉尼真空規(guī)PSG500、PSG500-S、PSG502-S、PSG510-S和PSG512-S采用市場上先進(jìn)的數(shù)字皮拉尼技術(shù)。測量范圍:5×10-4 … 1000mbar,傳感器燈絲有:鎢絲、鎳絲、陶瓷燈絲,設(shè)計(jì)緊湊,適用于半導(dǎo)體系統(tǒng)和大多數(shù)真空測量環(huán)境,選擇鎳絲、陶瓷燈絲可適用于腐蝕性環(huán)境。
PSG010, PSG017, PSG018英??担↖NFICON)耐高溫、耐輻射真空計(jì),是一款無源皮拉尼真空計(jì),有著悠久的歷史,與INFICON的VGC094真空規(guī)控制器配套使用。其測量范圍為:8×10-4 … 1000mbar;可實(shí)現(xiàn)遠(yuǎn)距離(最遠(yuǎn)500m)、高溫(最高250℃)、高電離、高輻射等環(huán)境的真空測量,選擇鎢燈絲,可應(yīng)用于耐腐蝕型環(huán)境。
VGC094 INFICON 耐高溫、耐輻射真空計(jì)控制器,可以連接多個(gè)型號無緣真空計(jì),測量范圍為:1.0×10-11 … 1000mbar;該控制器可以配置2組真空計(jì)控制卡,可接4個(gè)真空計(jì)(每組控制卡可接2個(gè)真空計(jì)),控制器提供多種數(shù)字通信接口(USB、RS485、以太網(wǎng)),VGC094 為苛刻的真空測量環(huán)境提供理想,例如遠(yuǎn)距離、高溫或高電離輻射等環(huán)境的真空測量。
新型 INFICON Pirani /Piezo 組合真空計(jì) (INFICON英??礟PG550皮拉尼真空計(jì)) 基于目前非常先進(jìn)的 MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))傳感器技術(shù)。
皮拉尼與電容薄膜復(fù)合真空計(jì)INFICON,型號:PCG550、PCG552、PCG554,該真空計(jì)將 INFICON 皮拉尼技術(shù)與陶瓷電容膜片傳感器的優(yōu)點(diǎn)結(jié)合在單一產(chǎn)品中,彌補(bǔ)了皮拉尼真空計(jì)再大氣壓附近測量不穩(wěn)定的缺陷,其量程范圍為:5×10-5至500mbar;傳感器可選鎳絲傳感器(PCG552)和陶瓷涂層傳感器(PCG554)。
INFICON(英福康)增強(qiáng)型皮拉尼真空計(jì)的型號為PGE300,它采用了市場上最新的數(shù)字對流增強(qiáng)型皮拉尼技術(shù),其測量范圍為:1.3×10-4 … 1333mbar,使用鍍金鎢絲燈絲,相比傳統(tǒng)的皮拉尼真空計(jì),其在大氣壓附件(100 至 1000 mbar) 的測量范圍有很高的精度(2.5%)。