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當(dāng)前位置:首頁(yè)產(chǎn)品中心INFICON英福康INFICON真空計(jì)CDG025D電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康)

電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

電容薄膜真空計(jì)INFICON (英???CDG025D電容薄膜規(guī),屬于INFICON薄膜規(guī)系列,測(cè)量精度可達(dá):0.2%(讀數(shù)精度)、自帶溫度補(bǔ)償功能,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整功能。

產(chǎn)品型號(hào):CDG025D
更新時(shí)間:2024-11-29
廠商性質(zhì):代理商
訪問(wèn)量:1440
詳細(xì)介紹在線留言
品牌INFICON/美國(guó)真空接口KF16
量程0.1-1000mbar測(cè)量原理電容薄膜
價(jià)格區(qū)間1萬(wàn)-2萬(wàn)產(chǎn)地類別進(jìn)口
應(yīng)用領(lǐng)域生物產(chǎn)業(yè),能源,電子,航天,汽車

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電容薄膜真空計(jì)INFICON (英??担?width=


CDG025D電容薄膜真空計(jì)屬于INFICON薄膜規(guī)系列。測(cè)量精度可達(dá):0.2%(讀數(shù)精度)、自帶溫度補(bǔ)償功能,可以在惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境中提供穩(wěn)定的性能。自帶一鍵歸零功能和設(shè)定點(diǎn)調(diào)整功能。選用防腐蝕陶瓷傳感器可應(yīng)用于腐蝕性真空環(huán)境。在腐蝕性環(huán)境中也能保持良好的零點(diǎn)穩(wěn)定性;預(yù)計(jì)壽命可達(dá)到數(shù)百萬(wàn)個(gè)加壓循環(huán),包括突發(fā)大氣壓。傳感器屏蔽可防止儀表被過(guò)程污染。堅(jiān)固的機(jī)械設(shè)計(jì)和數(shù)字電子元件可有效過(guò)濾電磁干擾,保持長(zhǎng)期的穩(wěn)定測(cè)量。


技術(shù)特點(diǎn):

· 100 mTorr 1000 Torr 滿量程可選

· 電源接通后快速穩(wěn)定

· 暴露于大氣壓后快速恢復(fù)

· 可選防腐蝕陶瓷傳感器

· 優(yōu)秀的電磁屏蔽技術(shù)保持信號(hào)的長(zhǎng)期溫度

· 具有溫度補(bǔ)償功能

· 傳感器防污染保護(hù)功能

· 一鍵調(diào)零功能


典型應(yīng)用:

· 用于蝕刻、CVD、PVD ALD 的半導(dǎo)體制造設(shè)備

· 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)和顯示器制造設(shè)備

· 工業(yè)真空設(shè)備

· 高度精確的壓力測(cè)量控制


電容薄膜真空計(jì)INFICON (英??担?/strong>

技術(shù)參數(shù):

參數(shù)

單位



參數(shù)值

Full scale (FS)      

滿量程可選范圍

Torr / mbar



1000 Torr / 1100   mbar

500 ... 10 Torr /   mbar

1 Torr / mbar

0.25 Torr

0.1 Torr / mbar

精度

% of reading



0.2%讀數(shù)精度

分辨率

percent FS



0.003%

Lowest reading

zui低讀數(shù)




0.01 % FS(滿量程的)

suggested Reading

建議參考讀數(shù)




0.05 % FS (滿量程的)

Control pressure

控制壓強(qiáng)時(shí)建議讀數(shù)范圍




0.5 % FS (滿量程的)

輸出信號(hào)(模擬)

V (dc)



0 … +10V

Supply voltage (dc)

供電電源

V (dc)



+14 ... +30 V

Power consumption

功率




≤1 W

響應(yīng)時(shí)間

ms



30

Temperature溫度





Operation (ambient)

操作溫度

°C



+5 ... +50 °C

Bakeout(at flange3)

環(huán)境溫度(在法蘭)

°C



≤110 °C

Storage

儲(chǔ)藏溫度

°C



–40 ... +65 °C

暴露于真空的材料




Aluminum oxide   ceramic (AI2O3),   Vacon 70, stainless steel (AISI 316L), AgCuTi hard solder, sealing glass

Degree of   protection      防護(hù)等級(jí)




IP 30











































尺寸圖


電容薄膜真空計(jì)INFICON (英福康)


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