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瑞士VAT徽拓真空閥門
壓力控制蝶閥
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產(chǎn)品分類15796516293
VAT 65.3控壓真空擺閥設(shè)定了下游壓力控制和隔離的新標(biāo)準(zhǔn)。該系列控壓擺閥專為半導(dǎo)體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設(shè)計(jì),可在較寬的流導(dǎo)范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機(jī),可提供改進(jìn)功能。驅(qū)動(dòng)器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力,可提供全新可控性。
VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實(shí)現(xiàn)出色的壓力控制;憑借其快速且精準(zhǔn)的作用動(dòng)作控制器(0.1 秒),61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細(xì)控制的理想解決方案。