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產(chǎn)品中心

Product Center

VAT 65.3控壓真空擺閥

產(chǎn)品簡介

VAT 65.3控壓真空擺閥設定了下游壓力控制和隔離的新標準。該系列控壓擺閥專為半導體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設計,可在較寬的流導范圍內(nèi)提供穩(wěn)定精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機,可提供改進功能。驅(qū)動器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力,可提供全新可控性。

產(chǎn)品型號:653xx-JAAH
更新時間:2024-10-23
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:1044
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品牌Vatvalve應用領域能源,電子,航天,汽車,電氣

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VAT 65.3控壓真空擺閥

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  VAT 65.3控壓真空擺閥設定了下游壓力控制和隔離的新標準。該系列控壓擺閥專為半導體和顯示器生產(chǎn)系統(tǒng)而設計,可在較寬的流導范圍內(nèi)提供精確的可控性。65.3 控壓擺閥配備帶有集成位置控制的電機,可提供改進功能。

驅(qū)動器控制器具有更高的 32 位數(shù)據(jù)處理能力,可提供全新可控性。這意味著可以非??焖佟⒕毢蜏蚀_地控制鐘擺閥板的各個位置,從而在極短的響應時間內(nèi)實現(xiàn)非常精確的下游壓力控制。閥門的預設運動序列可根據(jù)各種不斷變化的工藝參數(shù),對速度和路線進行調(diào)整。65.3 控壓擺閥還可防止粒子釋放。閥板經(jīng)過優(yōu)化的阻尼關閉運動可避免傳統(tǒng)閥門常見的沖擊和振動。65.3 控壓擺閥的閉合順暢無礙,幾乎察覺不到關閉和打開。閥板提供非常精確的機械引導,可確保往復運動中的無接觸氣流控制,并在密封運動的所有區(qū)域內(nèi)實現(xiàn)均勻的密封。

65.3 控壓擺閥已經(jīng)安裝在數(shù)百個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,證明了其穩(wěn)定的可靠性和性能。65.3控壓擺閥還是改造現(xiàn)有系統(tǒng)的理想之選。

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65.3 控壓擺閥的尺寸為 DN 100-350 mm (4" - 14"),采用鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁制成,帶有 ISO-F JIS 標準法蘭連接??杉啥ㄖ品ㄌm,也可作為直接安裝選項。標準密封材料為氟橡膠,并且可根據(jù)要求使用其他材料。

控制器可采用特殊控制算法(自適應、固定 PID、上游、軟抽)??刂破魃系母鞣N標準端  口可通過個人計算機或連接到過程控制單 (PCU) 輕松訪問。專用的控制性能分析儀 (CPA) 軟件可輕松校準 65.3 控壓擺閥并簡化維護計劃。


65.3控壓真空擺閥主要特點及優(yōu)勢:

特點:

  • 快速精確的壓力控制

  • 無沖擊操作:無粒子生成

  • 提高工藝穩(wěn)定性:可控制所有流量和壓力

  • 帶有控制性能分析儀 (CPA) 32 位集成壓力調(diào)節(jié)器 (IC2)

  • 即插即用"改造:無需校準或匹配

優(yōu)勢:

   ·       穩(wěn)定的可靠性、精度和速度

   ·       維護周期延長

   ·       運行成本低


65.3 控壓擺閥應用:

顯示干式蝕刻

通常情況下,干式蝕刻通過離子轟擊(通常是活性氣體的等離子體)來移除和蝕刻半導體材料的遮蔽圖案,從而將材料從暴露的表面移開。這個過程可能導致冷凝和高度的副作用,這可能影響真空閥的功能和可靠性。

過程控制和隔離

真空和氣體流的高精度控制和隔離在半導體制造中是至關重要的。在上游和下游過程中,所有的閥門功能必須保證在大量的循環(huán)中具有精確的重復性。其結(jié)果是:在規(guī)定的時間間隔內(nèi)精確的體積流量和一致的、可靠的密封。VAT控制和隔離閥在此設定了標準。

OLED噴墨打印

OLED的噴墨印刷中,所需的有機材料在常規(guī)的大氣條件下點滴在大型玻璃基材上的。精確的控制和隔離條件對于實現(xiàn)預期的生產(chǎn)質(zhì)量和效率至關重要。VAT真空閥解決方案在這一領域設立了標準。

65.3 控壓擺閥技術數(shù)據(jù)


尺寸


DN 100 (4"), DN   160 (6"), DN 200 (8"),
  DN 250 (10"), DN 320 (12"), DN 350 (14")

驅(qū)動器


帶集成壓力控制器的步進電機

閥體材料


鋁:鋁或硬質(zhì)陽極氧化鋁

饋通件

驅(qū)動器

密封圈

旋轉(zhuǎn)饋通件

軸饋通件

標準法蘭


ISO-F, JIS

泄漏率閥體

硬質(zhì)陽極氧化鋁

< 1 × 10-9 mbar ls-1
  < 1 × 10
-5 mbar ls-1

泄漏率閥座

硬質(zhì)陽極氧化鋁

< 1 × 10-9 mbar ls-1
  < 1 × 10
-4 mbar ls-1

壓力范圍

硬質(zhì)陽極氧化鋁

1 × 10-8 mbar   to 1.2 bar (絕對壓強)
  1 × 10
-6 mbar to 1.2 bar (絕對壓強)

第一次維護前開關次數(shù)

壓力控制

關閉/打開

100 萬次

20 萬次

溫度

閥體

≤ 120 °C


控制器

最大 50℃(建議 ≤35℃)

材料

閥體、閥板

EN AW-6061 (3.3211)


密封圈

EN AW-6061 (3.3211),   AISI 305 (1.4303),
  AISI 420C (1.3541), AISI 631 (1.4568)


其他部件

AISI 316L (1.4404,   1.4435), AISI 440 (1.4122),
  AISI 301 (1.4310), AISI 316 Ti (1.4571), AISI 304 (1.4301)

密封

閥蓋、閥板、

閥體饋通件

氟橡膠(含氟彈性體)

安裝位置


任何位置



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