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當前位置:首頁產品中心瑞士VAT徽拓真空閥門壓力控制蝶閥61.3系列VAT 61.3壓力控制蝶閥

VAT 61.3壓力控制蝶閥

產品簡介

VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現出色的壓力控制;憑借其快速且精準的作用動作控制器(0.1 秒),61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。

產品型號:61.3系列
更新時間:2024-10-23
廠商性質:代理商
訪問量:1790
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品牌Vatvalve應用領域能源,電子,航天,汽車,電氣

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VAT 61.3壓力控制蝶閥


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VAT 61.3壓力控制蝶閥在所有條件下均能實現出色的壓力控制;憑借其快速且精準的作用動作控制器(0.1 秒),61.3系列控制閥成為 CVD 和 ALD 工藝中精細控制的理想解決方案。閥板可充當節(jié)流元件,改變閥門開度的流導特性。61.3 系列壓力控制蝶閥的集成壓力控制器可計算所需的閥板位置,以盡快實現設定壓力。該系列產品專為氣流中有粒子的惡劣下游工藝設計。即使粒子載荷高并且存在因設計而沉積的碎屑,61.3 蝶形控制閥仍能夠保持精確正常運行。

61.3 系列控制閥已經安裝在數千個各種工藝條件下的要求苛刻的應用中,證明了其穩(wěn)定的可靠性。憑借堅固的設計、直接安裝選項,以及簡單且輕松的維護,61.3 系列控制閥在各個方面都令人信服。

閥體材料、表面處理、彈性體、法蘭連接、特殊尺寸以及特殊控制算法(自適應、固定 PI 下游/軟抽)方面的各種設計選項可簡化在不同真空應用中的集成。



61.3 蝶形控制閥采用鋁或不銹鋼制成,標準法蘭連接器為 ISO-KF 和 ISO-F,可以集成客戶定制法蘭和特殊功能,如集成式絕緣加熱器。可根據要求提供各種全氟橡膠/氟橡膠彈性體(氟橡膠為標準選項)。


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61.3壓力控制蝶閥的主要特點:

  • 穩(wěn)定的壓力控制

  • 運行非???/p>

  • 板載軟件,用于本地運行

  • 惡劣工藝條件下可實現可靠運行

  • 工藝可控性更好

  • 正常運行時間長/性能不受限

  • 運行成本低


61.3系列壓力控制蝶閥尺寸圖:


  • 638467382744230765284.jpg


61.3系列壓力控制蝶閥技術參數:

尺寸



DN 25 (1’’) DN 40 (1?’’), DN 50 (2’’),
             DN 63 (2?"), DN 80 (3"), DN 100 (4"),
             DN 160 (6"), DN 200 (8"), DN 250 (10"),
             DN 320 (12")

驅動器



帶步進電機的集成控制器,面向現場的控制 (foc)

閥體材料



鋁或不銹鋼

標準法蘭



ISO-KF, ISO-F

泄漏率


< 1 × 10-9 mbar ls-1

不銹鋼


< 1 × 10-9 mbar ls-1

壓力范圍



1 × 10-8 mbar 至 1.2 bar

維護前開關次數

壓力控制


兩百萬

溫度

閥體


≤ 150 °C

材材

閥體、閥板


             不銹鋼

EN AW-6082 (3.2315)
             AISI 316L (1.4404 或1.4435)



AISI 316L (1.4404 或 1.4435)

密封

饋通件


FKM (其他按要求)

饋通件



旋轉軸,直接驅動

安裝位置



任何(建議安裝在真空泵的一側)








VAT--------------

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