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產(chǎn)品中心真空閥門傳輸閥
PRECESS L-Motion 移位傳輸門閥適用于腐蝕工藝，如蝕刻或 CVD，通過單軸氣動執(zhí)行器對閘門進行 L 型運動的技術(shù)。在 L 型運動中，閘門垂直移動到接近位置 - 不與閥體有任何接觸 - 在最后的運動中，它被水平推到閘閥座上，密封件以與連接的氣壓相關(guān)的固定力接觸閘閥座。
更新時間：2025-08-22
產(chǎn)品型號：SPTVL 系列(V74)
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