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EBARA真空泵
EBARA ESA系列真空干泵抽速達(dá)1400L/min~10,000L/min,適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣,以及20,000L/min~80,000L/min排氣量的機(jī)型,適合大型腔室高速排氣;采用緊湊化設(shè)計,可以選擇耐腐蝕性材料選配件,是MOCVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點,還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件。
EBARA EV-SA系列真空干泵 是無需冷卻水的小型空冷干式真空泵。盡管屬于安裝自由度高的小型設(shè)計,最大排氣速度達(dá)到5000L/min,具有節(jié)能、低噪的優(yōu)點,除了用于生產(chǎn)工廠以外,還可用于實驗室和研究室等各種不同環(huán)境,也是是各種分析儀器和電子顯微鏡等潔凈排氣用途的優(yōu)質(zhì)選擇。