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產(chǎn)品中心

Product Center

當(dāng)前位置:首頁產(chǎn)品中心EBARA真空泵ESA70W,ESA100W,ESA200WEBARA ESA系列真空干泵

EBARA ESA系列真空干泵

產(chǎn)品簡(jiǎn)介

EBARA ESA系列真空干泵抽速達(dá)1400L/min~10,000L/min,適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣,以及20,000L/min~80,000L/min排氣量的機(jī)型,適合大型腔室高速排氣;采用緊湊化設(shè)計(jì),可以選擇耐腐蝕性材料選配件,是MOCVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn),還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件。

產(chǎn)品型號(hào):ESA70W,ESA100W,ESA200W
更新時(shí)間:2024-11-25
廠商性質(zhì):代理商
訪問量:448
詳細(xì)介紹在線留言
品牌EBARA/荏原功率3-9kW
輸送介質(zhì)其他泵軸位置臥式
極限壓力0.53pa葉輪數(shù)目多級(jí)
抽氣速率1400-80000L/MINl/s抽氣量1400-80000L/MIN
最大工作壓強(qiáng)10重量410kg
電壓380V排出口徑200-500mm
流量1200M3/hm3/h應(yīng)用領(lǐng)域醫(yī)療衛(wèi)生,環(huán)保,能源,電子,航天

EBARA  ESA系列真空干泵

 

EBARA ESA系列真空干泵

EBARA ESA系列真空干泵抽速達(dá)1400L/min~10,000L/min,適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣,以及20,000L/min~80,000L/min排氣量的機(jī)型,適合大型腔室高速排氣;采用緊湊化設(shè)計(jì),可以選擇耐腐蝕性材料選配件,是MO-CVD等大流量輕質(zhì)氣體排氣用途的zuijia選擇。大型機(jī)型兼具大排氣量和靜音低振的優(yōu)點(diǎn),還可選擇有機(jī)溶劑排氣用選配件,是LCD濺鍍裝置、真空干燥工藝和大型預(yù)真空的zuijia選擇。EBRA真空泵先進(jìn)的控制和監(jiān)測(cè)在半導(dǎo)體等要求苛刻的需求中得到長(zhǎng)時(shí)間驗(yàn)證。


技術(shù)特點(diǎn):

l                      滿足大型真空腔室高速排氣要求

l                      低能耗、高抽速

l                      選配后可抽取有機(jī)氣體、腐蝕性氣體

l                      適合氫氣等輕質(zhì)氣體排氣

l                      智能轉(zhuǎn)子 RPM 控制功能,可實(shí)現(xiàn)靈活的氣體通量

l                      認(rèn)證標(biāo)準(zhǔn): CE、SEMI-S2/NRTL


典型應(yīng)用:

l                      LCD、FPD、OLED等行業(yè)

l                      高含量輕質(zhì)氣體的真空抽取(如H2)

l                      腐蝕性氣體的抽取

l                      PVD、MOCVD等工藝

l                      半導(dǎo)體、光伏制程


技術(shù)參數(shù):

EBARA ESA系列真空干泵

設(shè)備名稱

單位

ESA15-D

ESA25-D

ESA25XW

ESA70W(-D)

ESA70WN(-D)

 

排氣速度

L/min

1,400 (50Hz)

2,500 (50Hz)

5,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)

7,000 (50Hz)

 

1,700 (60Hz)

3,000 (60Hz)

6,000 (60Hz)

8,400 (60Hz)

8,400 (60Hz)

 

極限壓力

Pa

400 (50Hz)

5.3 (50Hz)

5.3 (50Hz)

0.27 (50Hz)

0.4 (50Hz)

 

270 (60Hz)

4.0 (60Hz)

4.0 (60Hz)

0.13 (60Hz)

0.27 (60Hz)

 

連接口徑

吸氣口

 

NW40

NW50

ISO80

NW50

NW50

 

排氣口

 

NW40

NW40

NW40

NW40

NW40

 

極限壓力時(shí)功率概值

kW

2.9 (50Hz)

2.6 (50Hz)

5.2 (50Hz)

3.6 (50Hz)

3.6 (50Hz)

 

3.2 (60Hz)

2.9 (60Hz)

5.8 (60Hz)

4.0 (60Hz)

4.0 (60Hz)

 

冷卻水

流量

L/min

3.5~8

3.5~8

7~16

3.5~8

3.5~8

 

溫度

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30

 

N2

流量

Pa•m3/s

14~17 (4.6)

17~20 (3.8)

34~40

24~27 (4.7)

24~27 (4.7)

 

電源 相/電壓/頻率

200V機(jī)型

 

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

 

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

 

400V機(jī)型

 

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

 

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

 

460V機(jī)型

 

 

 

 

 

 

 
 

電源容量

kVA

6.4

6.4

12.8

10.3

10.3

 

質(zhì)量概值

kg

240

240

480

380

380

 

設(shè)備名稱

單位

ESA80W-HDF

ESA80WN-HDF

ESA100W

ESA100WN

 

排氣速度

L/min

8,400 (50Hz/60Hz)

8,400 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

10,000 (50Hz/60Hz)

 
 

極限壓力

Pa

0.13

0.27

0.13

0.27

 
 

連接口徑

吸氣口

 

NW50

NW50

NW50

NW50

 

排氣口

 

NW40

NW40

NW40

NW40

 

極限壓力時(shí)功率概值

kW

4.2

4.2

4.9

4.9

 
 

冷卻水

流量

L/min

3.5~8

3.5~8

3.5~8

3.5~8

 

溫度

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30

 

N2

流量

Pa•m3/s

54~57

54~57

54~57

54~45

 

電源 相/電壓/頻率

200V機(jī)型

 

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

 

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

 

400V機(jī)型

 

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

 

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

 

460V機(jī)型

 

 

 

 

 

 
 

電源容量

kVA

12.6

12.6

12.6

12.6

 

質(zhì)量概值

kg

400

400

400

400

 

設(shè)備名稱

單位

ESA200W

ESA300W

ESA500W

ESA700W

 

排氣速度

L/min

20,000 (50Hz/60Hz)

28,000 (50Hz)

47,000 (50Hz)

80,000 (50Hz/60Hz)

 

30,000 (60Hz)

50,000 (60Hz)

 

極限壓力

Pa

0.53

0.53

0.53

0.5

 
 

連接口徑

吸氣口

 

NW80

ISO100

ISO160

ISO160

 

排氣口

 

NW40

NW40

NW40

NW50

 

極限壓力時(shí)功率概值

kW

3.2 (50Hz)

6.6 (50Hz)

5.1 (50Hz)

7.4

 

3.4 (60Hz)

7.3 (60Hz)

6.7 (60Hz)

 

冷卻水

流量

L/min

3.5~8

6~9

6~9

6~9

 

溫度

Max. 30

Max. 30

Max. 30

Max. 30

 

N2

流量

Pa•m3/s

17~20 (3.8)

7.5~10.5

8.5~11

8.5~11

 

電源 相/電壓/頻率

200V機(jī)型

 

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

三相/200V/50Hz

 

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

三相/200-220V/60Hz

 

400V機(jī)型

 

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

三相/380-400V/50Hz

-

 

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

三相/380-440V/60Hz

 

460V機(jī)型

 

 

三相/440V/50Hz

三相/440V/50Hz

三相/440V/50Hz

 

三相/440-480V/60Hz

三相/440-480V/60Hz

三相/440-480V/60Hz

 

電源容量

kVA

12

23.7

41.3

46.5

 

質(zhì)量概值

kg

410

700

750

1200

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 






















杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案,公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌,結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案,旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。

 

 

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