域勢(shì)科技電容金屬薄膜真空計(jì)（溫補(bǔ)型）

溫補(bǔ)型電容金屬薄膜真空計(jì)采用單側(cè)雙電極差分電容設(shè)計(jì)，暴露于工藝氣體的材料全部為Inconel/Incoloy合金，超高靈敏度的前端電路和*算法，保證在工作壓力下有很高的靈敏度和測(cè)量精度，響應(yīng)迅速，性能穩(wěn)定，抗腐蝕性強(qiáng)，獨(dú)特的溫度補(bǔ)償算法幫助產(chǎn)品快速穩(wěn)定。提供1Torr至1000Torr滿刻度范圍，具有低成本、高性能的特點(diǎn)，適用于鍍膜行業(yè)、半導(dǎo)體和等離子應(yīng)用等惡劣的生產(chǎn)加工環(huán)境，為其提供穩(wěn)定的性能。

優(yōu)點(diǎn)

1.溫度補(bǔ)償型金屬薄膜差分電容絕壓傳感器

l高度靈敏

l高精度和重復(fù)性

l長(zhǎng)期穩(wěn)定性高

l快速到達(dá)工作狀態(tài)

2.傳感器全部為堅(jiān)固且耐腐蝕Inconel合金

l不依賴氣體，測(cè)量結(jié)果與氣體成分無關(guān)

l允許與腐蝕性或骯臟氣體一起使用

l真空計(jì)材料對(duì)過程無污染

3.輸出信號(hào)豐富

l易于集成，接口豐富，滿足各種系統(tǒng)集成需求

l獨(dú)立的Type C 診斷、調(diào)試、配置接口

4.壓力觸發(fā)輸出功能

l通過繼電器輸出壓力觸發(fā)信號(hào)

域勢(shì)科技電容金屬薄膜真空計(jì)（溫補(bǔ)型）

技術(shù)參數(shù)

杭州域勢(shì)科技有限公司專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。