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產(chǎn)品中心晶控配件膜厚控制儀器SQC310INFICON英福康膜厚控制儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介
INFICON英福康膜厚控制儀的存儲(chǔ)容量可達(dá) 100 個(gè)過(guò)程、1000 層薄膜、50 種薄膜材料，可滿足多種鍍膜工藝的存儲(chǔ)需求。
| 品牌 | INFICON/美國(guó) | 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,生物產(chǎn)業(yè),能源,電子/電池,制藥/生物制藥 |
|---|
INFICON英?？?/span>膜厚控制儀
INFICON SQC-310 系列擁有優(yōu)良的電子元件、改進(jìn)的顯示屏和非常實(shí)惠的價(jià)格，為您提供競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手薄膜控制器所不具備的功能。您可以選擇適合您應(yīng)用的理想型號(hào)：順序沉積 (SQC-310) 或共沉積 (SQC-310C)。
功能
l 明亮的彩色液晶顯示屏 - 提供英文或中文顯示
l 標(biāo)準(zhǔn)RS-232和USB接口（可選RS-232和以太網(wǎng)接口）
l 通過(guò) "快速設(shè)置 "菜單、6個(gè)上下文敏感按鈕和方便的參數(shù)設(shè)置旋鈕，實(shí)現(xiàn)簡(jiǎn)單的設(shè)置和操作
l Windows®程序，用于開發(fā)、測(cè)試和下載過(guò)程，并將儀表數(shù)據(jù)記錄到PC上，用于過(guò)程分析和質(zhì)量控制
l 精確的過(guò)程控制，尤其適用于低沉積速率，分辨率為±0.03 Hz，讀數(shù)為10個(gè)/秒
l 可存儲(chǔ)多達(dá)100個(gè)過(guò)程、1,000層、50層薄膜的數(shù)據(jù)
l 使用單個(gè)傳感器或多個(gè)傳感器監(jiān)測(cè)源材料，以提供精確的源分布監(jiān)測(cè)
INFICON英?？?/span>膜厚控制儀
規(guī)格
SQC-310 | |
測(cè)量 | |
QCM 輸入 | 2 (4 可選） |
頻率范圍 | 可調(diào): 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高 |
頻率分率 (1) | ± 0.012 Hz |
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (2) | ±0.015 ? |
頻率穩(wěn)定 | ± 2 ppm 總, 0 to 50C |
測(cè)量間隔 | 0.10 to 1.0 s (可調(diào)) |
顯示速率 | 0.01 ?/sec |
控制 | |
儲(chǔ)存 | 100 過(guò)程, 1000 模層, 50 模系 |
控制輸出 | 2 (4 可選) |
信號(hào)輸出 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
數(shù)字輸入/繼電器 | 8/8 (16/16 可選) |
數(shù)字輸入 | 5 VDC 非隔離 |
繼電器 | SPST 1A, 30V, 2A 最大 |
接口 | 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 選項(xiàng)) |
遠(yuǎn)程控制 | 選項(xiàng) (IPN 782-900-017) |
顯示 | |
類型 | 1/4 VGA 320 x 240 有源矩陣彩色 LCD |
圖型 | 速率、偏差、功率或全屏數(shù)字 |
一般 | |
電源 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
兼容 | CE, RoHS |
Windows® 軟件 | 包含 |
機(jī)箱 / 安裝 | 5 1/4" 半機(jī)架 |
(1) 0.25 s測(cè)量間隔的分辨率
(2)工具/密度 = 100/1, 基礎(chǔ)頻率 = 6 MHz, 0.25 s 測(cè)量間隔
SQC-310C | |
測(cè)量 | |
QCM 輸入 | 4 |
頻率范圍 | 可調(diào): 1.0 MHz 最小 6.5 MHz 最高 |
頻率分率 (1) | ± 0.012 Hz |
厚度和速率分辨率/測(cè)量 (2) | ±0.015 ? |
頻率穩(wěn)定 | ± 2 ppm 總, 0 to 50C |
測(cè)量間隔 | 0.10 to 1.0 s (可調(diào)) |
顯示速率 | 0.01 ?/sec |
控制 | |
儲(chǔ)存 | 100 過(guò)程, 1000 模層, 50 模系 |
控制輸出 | 4 |
信號(hào)輸出 | ± 0 to 10 VDC, 15 bits |
數(shù)字輸入/繼電器 | 16/16 |
數(shù)字輸入 | 5 VDC 非隔離 |
繼電器 | SPST 1A, 30V, 2A 最大 |
接口 | 標(biāo)準(zhǔn) RS-232 and USB (RS-232 和Ethernet 選項(xiàng)) |
遠(yuǎn)程控制 | 選項(xiàng) (IPN 782-900-017) |
顯示 | |
類型 | 1/4 VGA 320 x 240 有源矩陣彩色 LCD |
圖型 | 速率、偏差、功率或全屏數(shù)字 |
一般 | |
電源 | 100-240 VAC, 50/60 Hz, 25W |
兼容 | CE, RoHS |
Windows® 軟件 | 包含 |
機(jī)箱 / 安裝 | 5 1/4" 半機(jī)架 |
(1) 0.25 s測(cè)量間隔的分辨率
(2)工具/密度 = 100/1, 基礎(chǔ)頻率 = 6 MHz, 0.25 s 測(cè)量間隔
杭州域勢(shì)科技有限公司，專注于為工業(yè)及科研客戶提供流量、壓力、真空檢測(cè)及控制相關(guān)的技術(shù)服務(wù)及解決方案，公司代理經(jīng)銷美國(guó)ALICAT、瑞士Vogtlin、美國(guó)MKS、日本EBARA等品牌，結(jié)合代理的產(chǎn)品為客戶提供優(yōu)質(zhì)的流量及壓力監(jiān)控解決方案，旨在提高客戶的研發(fā)及生產(chǎn)效率、改進(jìn)客戶制造工藝、推動(dòng)客戶科研及創(chuàng)新進(jìn)度。
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