Alicat MCES防腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器

（半導(dǎo)體行業(yè)專用）

• 插入式兼容性。外形包括焊接 1/4 英寸 VCR 配件，并與 SEMI 標(biāo)準(zhǔn) MFC 的 124 毫米端到端長(zhǎng)度相匹配。

• 多功能且準(zhǔn)確。對(duì) 98 多種氣體和 20 種自定義混合物進(jìn)行實(shí)時(shí)控制，精度可達(dá) NIST 可追溯的讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%。

• 輕松集成。 定制過程端口和電氣連接器，以及您選擇的 EtherNet/IP、EtherCAT、DeviceNet、Profibus、PROFINET、Modbus（RTU 和 TCP/IP）或串行通信，以便輕松集成到您的工業(yè)過程中。

MCES 系列性能（大多數(shù)產(chǎn)品）

• 可用滿量程范圍： 0.5 SCCM 至 20 SLPM

• 穩(wěn)態(tài)控制范圍：滿量程的0.01% – 100%

• 標(biāo)準(zhǔn)精度校準(zhǔn)，NIST 可追溯：讀數(shù)的 ± 0.6% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

• 可選高精度校準(zhǔn)，NIST 可追溯：讀數(shù)的 ±0.5% 或滿量程的 ±0.1%，以較大者為準(zhǔn)

• 重復(fù)性： ±（讀數(shù)的0.1% + 滿量程的0.02%）

• 典型控制響應(yīng)時(shí)間：快至 30 ms

• 預(yù)熱時(shí)間： <1秒

MCES 系列操作條件

• 兼容氣體： 98 種以上預(yù)加載的可選氣體校準(zhǔn)

• 工作溫度： –10°C 至 +60°C

• 滿量程工作壓力： 160 PSIA

• 最大壓差： 75 PSID

• 耐壓： 175 PSIA

• 用戶可選擇的參考條件（默認(rèn)）：  25°C & 1 ATM (STP) 和 0°C & 1 ATM (NTP)

Alicat MCES防腐蝕氣體質(zhì)量流量控制器

設(shè)備范圍和規(guī)格

0.5 SCCM 至 20 SLPM

• 多變量過程測(cè)量：同時(shí)測(cè)量質(zhì)量流量、體積流量、氣體壓力和氣體溫度。

• 用戶可更改測(cè)量單位：從我們廣泛的工程單位列表中更改壓力、流量或溫度的測(cè)量單位。

• 氣體選擇性： 從我們的氣體列表中預(yù)裝的 98 多種 NIST 可追蹤氣體校準(zhǔn)中選擇您的工藝氣體 。

• Gas Select Composer™： 使用我們的Gas Select Composer ™固件定義最多 5 種成分氣體的 20 種自定義氣體混合物 。

• 帶集成觸摸板的單色背光 LCD： 使用背光顯示屏輕松讀取測(cè)量值，并通過用戶友好的集成觸摸板控制配置。

• 用戶可調(diào)節(jié)的設(shè)定點(diǎn)斜坡和限制：可配置的斜坡速率允許根據(jù)需要控制過程變量的快或慢，并且可配置的設(shè)定點(diǎn)限制可保護(hù)過程免受無意的設(shè)定點(diǎn)變化的影響。

• 用戶可調(diào)節(jié)標(biāo)準(zhǔn)溫度和壓力 (STP) 條件： 快速 更改參考條件， 無需重新校準(zhǔn)。

• 閥門關(guān)閉超控和閥門打開超控：利用警報(bào)快速排氣系統(tǒng)或根據(jù)需要停止所有流量。

購買時(shí)要求 | 自由的

• 可選的集成累加器和批量控制：每 1 毫秒累加一次質(zhì)量流量，以便精確跟蹤一段時(shí)間內(nèi)的總流量，并使用批量控制來分配精確的體積。

構(gòu)建和性能選項(xiàng)

• 通信協(xié)議：模擬、RS–232、RS–485、DeviceNet、EtherCAT、EtherNet/IP、Modbus RTU 或 TCP/IP、PROFIBUS、PROFINET

• 顯示屏：單色或彩色背光；集成或面板安裝

• 過程連接：壓縮、VCR 或 VCO 接頭

• 接液材質(zhì)： 302、303、304、316L、430FR不銹鋼；FKM、氧化鋁陶瓷、黃銅、玻璃、金、熱固化環(huán)氧樹脂、熱固化硅橡膠、聚酰胺、硅

• 校準(zhǔn)：高精度；自定義校準(zhǔn)點(diǎn)

閥門選項(xiàng)和 PID 調(diào)節(jié)

您的質(zhì)量流量控制器可以使用以下閥門選項(xiàng)之一進(jìn)行定制，以確保在您預(yù)期的過程條件下獲得更佳性能。

• MCE：內(nèi)置小型比例控制閥

定制 PID 閥門調(diào)節(jié)可確保您的特定過程條件發(fā)揮最大性能。